История изменений

Статейку сходу к сожалению не найду, я лично этим не занимался - пару раз на семинарах слушал что потенциальные заказчики рассказывали. В смысле технологии было много ухищрений - уменьшение длины волны источника (требует оооочень изощренных решений), наливание жидкости с большой оптической плотностью и т.д.

В смысле счета - это итерационная процедура, надо ЕМНИП на каждой итерации решать Гельмгольца и патчить маску, в итоге картинка должна отвечать требуемой. Когда длина волны много больше масштаба (размера «пикселя») картинки, маска на картинку не похоже вообще никак. К сожалению иногда маску рассчитать не удается, приходится менять расположение дорожек, транзисторов и пр., которые тоже нетривиально считаются.

Статейку сходу к сожалению не найду, я лично этим не занимался - пару раз на семинарах слушал что потенциальные заказчики рассказывали. В смысле технологии было много ухищрений - уменьшение длины волны источника (требует оооочень изощренных решений), наливание жидкости с большой оптической плотностью и т.д.

В смысле счета - это итерационная процедура, надо ЕМНИП на каждой итерации решать Гельмгольца и патчить маску, в истоге картинка должна отвечать требуемой. Когда длина волна много больше масштаба (размера «пикселя») картинки маска на картинку не похоже вообще никак. К сожалению иногда маску рассчитать не удается, приходится менять расположение дорожек, транзисторов и пр., которые тоже нетривиально считаются.