История изменений

Отвечу так:

Специально за процессом не следил, но в той же общедоступной компьютерре в середине 00 было достаточно информации по закупкам линий производства (линий, а не отдельных компонентов участков), и информации о том, что продавали не то, что считалось бы новьём

Лень рыть старые архивы.

Поэтому https://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%A4%D0%BE%D1%82%D0%BE%D0%BB%D0%B8%D1%82%D0%BE%D0%B3%D1%80%D0%B0%D1%84%D0%B8%D1%8F_%D0%B2_%D0%B3%D0%BB%D1%83%D0%B1%D0%BE%D0%BA%D0%BE%D0%BC_%D1%83%D0%BB%D1%8C%D1%82%D1%80%D0%B0%D1%84%D0%B8%D0%BE%D0%BB%D0%B5%D1%82%D0%B5

Первые экспериментальные установки совмещения и экспонирования (степперы) для EUVL были созданы в 2000 году в Ливерморской национальной лаборатории.

Но даже очень «оптимистичная» статья, не даёт оптимизма https://habr.com/ru/post/654429/

А тут про сложность https://habr.com/ru/company/dcmiran/blog/490682/

Отвечу так:

Специально за процессом не следил, но в той же общедоступной компьютерре в середине 00 было достаточно информации по закупкам линий производства (линий, а не отдельных компонентов участков), и информации о том, что продавали не то, что считалось бы новьём

Лень рыть старые архивы.

Поэтому https://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%A4%D0%BE%D1%82%D0%BE%D0%BB%D0%B8%D1%82%D0%BE%D0%B3%D1%80%D0%B0%D1%84%D0%B8%D1%8F_%D0%B2_%D0%B3%D0%BB%D1%83%D0%B1%D0%BE%D0%BA%D0%BE%D0%BC_%D1%83%D0%BB%D1%8C%D1%82%D1%80%D0%B0%D1%84%D0%B8%D0%BE%D0%BB%D0%B5%D1%82%D0%B5

Первые экспериментальные установки совмещения и экспонирования (степперы) для EUVL были созданы в 2000 году в Ливерморской национальной лаборатории.

Но даже очень «оптимистичная» статья, не даёт оптимизма https://habr.com/ru/post/654429/ А тут про сложность https://habr.com/ru/company/dcmiran/blog/490682/

Отвечу так:

Специально за процессом не следил, но в той же общедоступной компьютерре в середине 00 было достаточно информации по закупкам линий производства (линий, а не отдельных компонентов участков), и информации о том, что продавали не то, что считалось бы новьём

Лень рыть старые архивы.

Поэтому https://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%A4%D0%BE%D1%82%D0%BE%D0%BB%D0%B8%D1%82%D0%BE%D0%B3%D1%80%D0%B0%D1%84%D0%B8%D1%8F_%D0%B2_%D0%B3%D0%BB%D1%83%D0%B1%D0%BE%D0%BA%D0%BE%D0%BC_%D1%83%D0%BB%D1%8C%D1%82%D1%80%D0%B0%D1%84%D0%B8%D0%BE%D0%BB%D0%B5%D1%82%D0%B5

Первые экспериментальные установки совмещения и экспонирования (степперы) для EUVL были созданы в 2000 году в Ливерморской национальной лаборатории.

Но даже очень «оптимистичная» статья, не даёт оптимизма https://habr.com/ru/post/654429/