История изменений
Исправление tiinn, (текущая версия) :
Давайте не будем слишком близко к сердцу воспринимать разборки в научном сообществе и делать из них далекоидущие выводы. Всё, что нам нужно знать, так это то, что работы ведутся, и что проектом занимается уже не одна, а несколько научных групп.
Да-да, я уже приводил ссылку
Соисполнители: НПК ГОИ,НИТИОМ ГОИ,ГУ ИТМО,МГУ НИВЦ,ФТИ РАН,ЦФП ИОФ РАН,ОАО «НИИМЭ и Микрон»,ФТИАН,БГТУ, ИФМ РАН,ТРИНИТИ, ОИЯИ,МГУ,ИС РАН
и таймшит до 2017 года. Да-да, работы ведутся, проектом занимаются несколько научных групп.
А научно-промышленные центры России уже имеют солидный задел по EUV-литографии и плазменным процессам, созданы образцы технологического оборудования
это ещё в 2010 году писали
Исходная версия tiinn, :
Давайте не будем слишком близко к сердцу воспринимать разборки в научном сообществе и делать из них далекоидущие выводы. Всё, что нам нужно знать, так это то, что работы ведутся, и что проектом занимается уже не одна, а несколько научных групп.
Да-да, я уже приводил ссылку
Соисполнители: НПК ГОИ,НИТИОМ ГОИ,ГУ ИТМО,МГУ НИВЦ,ФТИ РАН,ЦФП ИОФ РАН,ОАО «НИИМЭ и Микрон»,ФТИАН,БГТУ, ИФМ РАН,ТРИНИТИ, ОИЯИ,МГУ,ИС РАН
и таймшит до 2017 года. Да-да, работы ведутся, проектом занимаются несколько научных групп.