Как с помощью /proc измерить процент использования cpu процессом?

Возможно, брать отношение изменения CPU time данного процесса к общему изменению CPU time? top делает так.

Общее CPU time - в `/proc/stat`:

cat /proc/stat | grep 'cpu ' | cut -f 3 -d' ' -

Time процесса - вроде 14е поле в /proc/{pid}/stat

cat /proc/{pid}/stat | cut -f 14 -d' '

Посмотри man proc.