Совсем недавно поставил на Debian 7 чистый апач и php. При попытке выполнить <?php echo 'Hello World'; ?> возникает ошибка:

SoftException in Application.cpp:350: UID of script $filename is smaller than min_uid
Premature end of script headers: $filename

На обычный html и прочие файлы не ругается, только на php.

Что пробовал, руководствуясь советами из гугла (не помогло):
chown -R www-data:www-data /var/www
find /var/www -type f -exec chmod 644 {} \;
find /var/www -type d -exec chmod 755 {} \;

До этого запускал всё скрипты либо с localhost, либо на сервере с ispmanager (с которого уже установлен и настроен апач и всё остальное). Всё работало.