Литограф для производства современных чипов в России можно создать за 2–3 года. При этом мощность перспективной установки будет «в разы превосходить те, что делает ASML». Тесное сотрудничество российских коллективов за два-три года позволит создать рентгеновский литограф для производства современных чипов. Об этом заявил научный руководитель Национального центра физики и математики (НЦФМ) академик и бывший президент РАН Александр Сергеев.
https://www.ixbt.com/news/2022/11/22/litograf-dlja-proizvodstva-sovremennyh-c...