[СПВ]координатник

А ты что, безрукий? Или я неправильно понял суть?

курвиметр

неправильно. нужент манипулятор, который двигает набор датчиков внутри вакуумной камеры с плазменным факелом. что то вроде махнического манипулятора с 2мя моторами, или координатника от графопостроителя, но с шаговыми двигателями.

о, круто, плазменный факел, дома. Тони Старк на ЛОРе?

>о, круто, плазменный факел, дома.

Может не дома.

По сабжу - спаяй сам =)

наверняка какие ни будь готовые устройства должны быть.

>наверняка какие ни будь готовые устройства должны быть.

Вообще да, вроде есть, но вот хз начет цены их и размеров. Есть штуки типа использующихся в графопостроителях (штука такая, чертежи рисует карандашом) или лазерных установках для фигурной резки.

а как они зовутся, а то я незнаю по каким словам гугглить?

о, кажется линейный сервопривод то что нужно

хотя нет, у него магнитов слишком много торчит. магниты надо подальше от датчика держать.

Ключевое слово «в вакуумной камере», потому как не все железяки в нем будут нормально работать (смазка испаряется, трущиеся поверхности друг к другу притираются), везде только шарики и ролики и при этом чтобы мазать можно было ВМ-5.
Так что сервопривод может резко скакануть в цене (либо всю камеру вам изгадит нефтепродуктом).

это понимаю, видимо нужны бронзографитовые подшибники

Все зависит от давления в камере и тех процессов что там идут.
В манипуляторах для древних электронных микроскопов (10-5 мм рт ст)
везде стояли шарики и скольжение сталь по фторопласту.
В более высоковакумных и чистых камерах вообще внутри никакой механики. Стоит здоровый сильфон из нержавейки в который вварена «кочерга», а кочергу крутит механизм расположенный снаружи камеры в атмосфере.
Для вашего случая (вряд ли у вас вакуум лучше 10-2) скорей всего подойдет какая-то самопальная система, на паре рельс и хороших шарикоподшибниках, со специальных шаговым мотором тоже на шариках. Легко моется, легко собирается.

Рекомендую поискать справочники и атласы по вакуумной технике.
Там все основные вопросы изложены в том числе с рекомендациями по выбору материалов и конструктивных решений.